株式会社ジェイテクトは、半導体や液晶基板、ハードディスクの製造装置や搬送設備向けにクリーン環境用「クリーンプロPRZ」※1を開発し、２００７年５月から量産を予定しています。

　半導体などの製造工程では、環境に存在する塵や装置構成部品から発生するアウトガスが、製品の歩留まりの悪化や品質の低下を招くため、軸受にも低発塵、低アウトガスの性能が求められています。クリーンプロPRZはクリーン環境に最適な潤滑剤の成分を配合し、転がり接触面にゲル状の特殊コーティングを施すことで、低発塵と低アウトガスを実現するとともに、長寿命化に成功しました。
　特殊環境用としてシリーズ化しているEXSEV軸受シリーズの新商品として販売していきます。

クリーンプロPRZは、発塵性能、アウトガス性能を飛躍的に向上させた結果、半導体や液晶基板などの製品の歩留りと品質の向上に貢献します。また、長寿命化により、装置のメンテナンス費用の低減や稼働率の向上にも寄与します。

  ※1　クリーンプロは当社の登録商標です。