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2017年

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News Release

平成29年07月03日

(EXSEV軸受シリーズ※1)NEWクリーンプロベアリングを開発

株式会社ジェイテクト(以下ジェイテクト)は、特殊環境用EXSEV軸受シリーズのクリーン環境用クリーンプロベアリングの性能を従来よりも大幅に向上させた「NEWクリーンプロベアリング」を開発しました。本開発品は、従来比で発じん量を50%低減、軸受寿命を10倍以上に向上させました。半導体やフラットパネルディスプレイ(FPD)などの製品歩留りや品質の向上に貢献し、搭載装置のランニングコスト低減や稼働率向上に寄与します。

開発品の写真

1.開発の背景

 

半導体やFPDの製造には極めて高いクリーン性が求められることから、製造装置には、発じんによる不純物の混入や放出ガスによる影響を可能な限り低減することが求められ、それはその部品であるベアリングでも同様です。
 一般的なベアリングでは回転する際の摩擦や潤滑油の飛散による発じん、また、潤滑油の蒸発によるガスが発生するため、ジェイテクトは極めて優れた低発じん特性、低放出ガス特性を有する「クリーンプロベアリング※1」を1998年に開発、商品化し、半導体をはじめとする先端デバイスの生産に貢献してまいりました。
 そして、昨今の先端デバイスの進化に伴い、更に高い生産性が求められていることから、より優れたクリーン性を有し、交換周期を長くすることができる長寿命なベアリングの開発を進めてまいりました。

 ※1 クリーンプロ、EXSEV(エクゼブ)は当社の登録商標です。

2.開発品の特長

 

ベアリングが回転する際の発じんや放出ガスを低減するためには、潤滑油やグリースを使用せずに、潤滑性や耐摩耗性を高める必要があり、ジェイテクトではベアリングにふっ素コーティングを施すことでこれを実現してきました(クリーンプロベアリング)。

本開発品は、このふっ素コーティングによる潤滑膜を、より潤滑性、耐久性に優れたものに改良し、従来品に対し
 ① 回転中に発生する発じん量を50%低減
 ② 発じん寿命※2を10倍以上に向上(室温の場合)
 ③ 発生する放出ガス量が同等以下

と性能を大幅に向上させております(ただし、比較結果は当社調べ)。

 これにより、更に低発じん、低放出ガスでより長寿命なベアリングを求められる半導体やFPD、機能性フィルム製造分野のお客様を中心に拡販を目指してまいります。

 ※2 発じん寿命:発じん量がクラス10(ISOクラス4)のレベルを超えるまでの時間

フッ素高分子個体潤滑膜(全面)

発塵性能/発塵寿命/放出ガス性能

3.販売計画

 

【量産開始】  2017年7月
 【売上目標】  4億円/年(2020年)
 【販売先】   半導体メーカー、FPDメーカー 等

4.製造工場

 

徳島工場、ダイベア(弊社グループ会社)

ジェイテクトは、軸受事業のブランド「Koyo」において、「Key of your operation」を掲げ、お客様とともに課題を解決し、嬉しさを提供するパートナーとして、半導体、FPD等の先端デバイスをはじめとするあらゆる産業に貢献してまいります。