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半導体・FPD・高機能フィルム

製品案内

特長

最先端の技術の集積である半導体/液晶や、その構成部材である高機能フィルムは今や私たちの生活になくてはならない存在となっています。またこれら製品の性能は、日々向上しており、製造装置に使用される部品には真空、クリーン、高温、腐食ガスなどの非常に厳しい環境への対応が要求されています。「特殊環境軸受シリーズ セラミック軸受・EXSEV軸受」は、素材、表面処理、潤滑技術を駆使し、さまざまな厳しい環境に対応するため開発された軸受です。

アイテム ・スパッタ装置・エッチング装置・露光装置・CVD装置・CVD装置の搬送部・搬送真空ロボット・ウェハー洗浄機・フィルム洗浄機・フィルム延伸装置・液晶搬送装置・液晶洗浄搬送部・ワイヤソー

関連製品

・軸受(深溝玉軸受アンギュラ玉軸受特殊環境用軸受自動調心ころ軸受)・オイルシール

熱処理成膜装置用軸受

特 長

  • 熱処理成膜装置では、高温下でも潤滑可能な、特殊仕様の軸受が採用されています。

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EB露光装置用軸受

特 長

  • EB露光装置用軸受は強磁場の環境下で使用されるため、非磁性素材であるセラミックスを採用した軸受が使用されています。

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エッチング装置用軸受

特 長

  • エッチング装置用軸受は、エッチング液にさらされた状態で使用するため、腐食に強いセラミックスを採用したタイプや、PTFEコーティングを施したタイプの軸受が採用されています。

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イオン注入装置用軸受

特 長

  • イオン注入装置の真空チャンバー内では、真空中で潤滑し、摩耗等により不純物を発生させないクリーンな軸受が採用されています。

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スパッタリング装置用軸受

特 長

  • スパッタリング装置の高温・真空部には高温クリーンプロ仕様の軸受が採用されています。

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CMP装置用軸受

特 長

  • CMP装置用軸受は、研削剤にさらされる環境で使用するため、腐食に強いセラミックスを採用したタイプや、PTFEコーティングを施したタイプの軸受が採用されています。

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検査装置用軸受

特 長

  • 検査装置用軸受は、検査に影響を与えないよう、非磁性の軸受が採用されています。

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ウェハ搬送装置用軸受

特 長

  • ウェハ搬送装置では低発じん性や長寿命が要求されます。
  • このような用途に、クリーンプロ仕様の組合せセラミックリニアウェイや、薄肉型のKシリーズ総玉形組合せセラミック軸受が採用されています。

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液晶偏光板フィルム製造装置用軸受

特 長

  • 偏光板フィルム製造ラインでは、酸・アルカリ・染料・純水といった各種溶液が使われます。
  • このような腐食環境下には、耐食組合せセラミック軸受が採用されています。

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