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2020年12月16日

腐食環境用 長寿命 Siフリー 深溝玉軸受
コロガードプロベアリング®-AZの開発

株式会社ジェイテクト(以下、ジェイテクト)は、厳しい腐食環境下で使用する特殊環境用軸受として、世界で初めてとなるアルミナジルコニア複合材料※を使用した『コロガードプロベアリング®-AZ』を開発し、耐食軸受シリーズとして展開中の『コロガードプロベアリング®』シリーズに新たにラインナップしました。

コロガードプロベアリング

【 図1 開発品イメージ】

1.開発背景

 

半導体製造装置の一部には、セラミック軸受が使用されていますが、その使用環境は、腐食ガス中や溶液がかかるため、材料の窒化けい素が腐食し、摩耗が促進されることで軸受が劣化してしまいます。

半導体製造現場では、その需要の増加に伴い、生産性の向上や安定生産の実現の為、メンテナンス回数の削減が大きな課題となっており、溶液や腐食ガス環境下でも腐食しない長寿命軸受の開発が求められていました。

ジェイテクトでは、これまでにも、薬液中や水中でも腐食せずに使用することができる窒化けい素を用いたセラミック軸受や、耐食軸受シリーズとしてコロガードプロベアリング®を展開中ですが、従来のラインナップに加え、今回、窒化けい素、ジルコニアが使えない強い酸環境においても使用可能な、コロガードプロベアリング®-AZを開発しました。

2.開発品の特徴

 

軸受の材料に、世界で初めてアルミナ-ジルコニア複合材料を使用したこの製品は、窒化けい素が使えない厳しい酸性環境下での使用が可能であり、その耐久性は炭化ケイ素よりも高く長寿命です。
『コロガードプロベアリング®-AZ』は、高い耐食性と耐荷重性を両立するため、軸受交換周期が延長されることで、お客様のメンテナンスコストの削減にも貢献します。

①耐荷重は炭化ケイ素(SiC)の1.2倍

②耐食性はSiCと同等

③Siフリー(Siを含まない)材料の軸受



図2 JTEKTセラミック軸受の性能イメージ

3.販売計画

 
【量産開始】 未定(2023年量産目標)
【売上目標】 6000万円/年
【販売先】 腐食環境(溶液やガス環境)でお困りのお客様

4.製造工場

 

国分工場、四国工場

ジェイテクトは、軸受事業のブランド「Koyo」において、「Key of your operation」を掲げ、お客様とともに課題を解決し、嬉しさを提供するパートナーとして、様々な環境に適応する軸受を提供し、あらゆる産業に貢献してまいります。

『コロガードプロベアリング』はジェイテクトの登録商標です