JTEKT集团　关于「SEMICON China 2024」的出展通知

JTEKT集团（本社：爱知县刈谷市，社长：佐藤和弘）各公司：株式会社捷太格特熱系統、株式会社捷太格特机械系统、株式会社捷太格特研磨工具、捷太格特（中国）投资有限公司将于3月20日至22日，参加在上海新国际博览中心举办的SEMICON China 2024（主办方：SEMI、CECC）。
在此次展会上，JTEKT集团各公司将共同推出有助于中国半导体市场发展的产品。

出展企业及主要产品

参展公司①
株式会社捷太格特熱系統（本社：日本奈良县天理市、社长：大友直之）

＜主要参展品＞
◆SiC功率半导体用　接触退火炉　「RLA-4100-V」

该热处理系统使用多个卤素灯作为热源，可在短时间内对晶圆进行高精度退火处理，可对应SiC（碳化硅）和 GaN（氮化镓）等各种晶圆。支持N2 Load lock(*1)和真空Load lock状态下晶圆传送，以防止金属配线部件氧化，并提高每小时的工作处理量。
注记：*1：Load lock是指大气气氛和所需气氛（N２或真空）的中转腔室, 在该腔室内进行大气和所需气氛（N２或真空）进行切换使用.

◆SiC功率半导体用　活性退火用立式炉　「VF-5300HLP」

该设备可进行超过1900°C的超高温退火，是SiC功率半导体活性化退火的理想选择。适用于最大8英寸的各种晶圆尺寸，每次最多可处理 100片，以实现出色的批量生产。

◆SiC功率半导体用　形成栅极绝缘膜用立式炉　「VF-5300H」

该设备可在1400°C高温下进行热处理，是SiC功率半导体氧氮化的理想选择。我司独有的炉内无金属构造最大程度地减少了金属污染的发生，适用于最大8英寸的各种晶圆尺寸，每次最多可处理100片，以实现出色的批量生产。

参展公司②
株式会社捷太格特机械系统（本社：大阪府八尾市、社长：宮藤贤士）

＜主要参展品＞
◆硬脆材料晶圆磨床　「R631BM」

该磨床专为磨削碳化硅(SIC)等硬脆性材料的晶圆而设计。 它配备了高刚性主轴，配合高刚性导轨，可实现高精度和稳定的加工。
捷太格特机械系统公司与捷太格特研磨工具公司合作，采用「nanoVi」 金刚石砂轮配置，用于8 英寸碳化硅(SIC)晶圆的磨削，实现了砂轮的低磨损率。

参展公司③
株式会社捷太格特研磨工具（本社：爱知县冈崎市、社长：望月美树）

＜主要参展品＞
◆用于碳化硅晶圆表面磨削的陶瓷金刚石砂轮 "nanoVi"

这种砂轮通过创新工艺优化了晶粒数量和晶粒间距，使超细金刚石的晶粒直径达到业内最小的 0.5 微米，从而实现了持续稳定的锋利度和加工质量。 与传统砂轮相比，高强度玻璃结合剂的使用使砂轮强度提高了 1.7 倍，并且减少了砂轮磨损。
nanoVi 可以安装在 株式会社捷太格特机械系统的 R631BM 脆性材料晶圆磨床上，通过与 JTEKT 集团的合作，有助于实现更高质量的晶圆磨削。
在这次展会上，我们会在版面上展出用于加工8英寸SIC晶圆的改良砂轮《nanoVi》，《nanoVi》有助于提高晶圆质量的稳定性并降低刀具成本。

参展公司④
捷太格特(中国)投资有限公司（本社：上海市长宁区、总经理：藤泽宽幸）

＜主要参展品＞
◆涡轮分子泵用轴承

以超高速使用的涡轮分子泵中采用磁性轴承。万一电源断开、磁性装置发生故障时，为了防止刀片破损，使用安全轴承用于保护。为了延长安全轴承在严酷环境下的使用寿命，采用了满装型组合陶瓷轴承。

涡轮分子泵

涡轮分子泵用轴承

◆晶圆搬运机器人用轴承

半导体和液晶制造装置中使用的搬运机器人需要粉尘产生量少、使用寿命长的轴承。
应此用途，采用了薄壁型K系列满装型组合陶瓷轴承。

K系列满装型组合陶瓷轴承

◆干式泵用轴承

干式泵是半导体制造工程中在真空用途、工艺气体的供给等方面大显身手的不可或缺的产品。
支撑转子的轴承在真空、高温、高速旋转下的所有方面被要求具有高性能。
捷太格特不仅提供与性能相符的轴承，还提供细致的技术支持，为干式泵的高可靠性、节能化、降低维护成本做贡献。

干式泵用轴承

展位号

T0130

SEMICON China 2024

日期：2024年3月20日（星期三）～22日（星期五） 9：00～17：00（最终日为16:00）
会场：上海新国际博览中心
参考：SEMICON China 2024　：https://www.semiconchina.org/en