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单片式洁净烘箱

最畅销的液晶 (LCD) 和有机 EL (OLED) 洁净烘箱！
这些烘箱支持一直到第 10 代的玻璃尺寸，具有高生产率和高清洁系数，并实现零基板损坏。它们还可以应对后烘烤产生的升华物。

• • 高生产率
  • 高清洁系数和零基板损坏
  • 高开工率
  • 节能
  • 支持各种布局
  • 支持各种基板操作
  • 还可以应对升华物。