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批量洁净设备 CBS 系列

我们专有的密封结构可通过充入惰性气体进行抗氧化处理。
超高温 HEPA 过滤器支持的最高工作温度为 500°C。
采用烘箱强制冷却机制和更快的基板传送实现了高吞吐量。