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高温洁净烘箱 CLH 系列

使用耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，可在清洁环境中进行高温烘烤（最高 530°C（V 型最高 500°C））。
热风循环系统可实现出色的温度均匀性和 100 级空气洁净度（当温度稳定时）。
这种类型的烘箱适用于半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化以及其他需要高温和高精度的热处理。
通过将氮气 (N₂) 引入腔室，可以在 20 ppm 或更低的残余 O₂ 浓度
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　下进行热处理。

• • 安装了耐热高性能过滤器和独特的冷却装置，可进行高温烘烤。
  • 当温度稳定时，腔室内部可保持 100 级清洁度。
  • 有两种热风机类型：水平循环前侧风机（V 型）和侧风机（III 型）。
    　　 两者都能实现较高的热效率和良好的温度均匀性。
  • 适用于半导体晶圆和玻璃基板烘烤、老化和其他需要高精度的热处理。
  • 可将惰性气体引入腔室，将烘箱用作惰性气体烘箱。