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200 型系列量产~实验用卧式炉管

从小型实验和研发到批量生产，这些炉管可以满足各种用户需求。
这些卧式炉管可用于太阳能电池和光伏发电系统生产以及硅晶片。

　

• • 从实验用途到批量生产，提供各种设备配置
  • 批次：可处理 25 至 150 片一体式
  • 采用 1 至 4 层炉管配置，以利用有限的可用面积
  • 提供 2 至 8 英寸晶圆尺寸
  • 提供适用于低温和中高温的 LGO 加热器、适用于高温的 HGC 加热器，以实现出色的温度性能
  • 按照客户的需求，根据使用情况、空间和预算提出各种设备配置
  • 简单而完备的控制系统

　

206A 型太阳能发电卧式炉管

这款卧式炉管适用于太阳能电池和光伏 (PV) 电池生产。
可以批量处理 100*100mm 至 156*156mm 晶圆，
每批 200 至 400 片一体式。

　

• • 在日本的市场份额排名第一
  • 处理 100*100mm 至 156*156mm 晶圆
  • 批次：可处理 200 至 400 片一体式（取决于均热区长度和晶圆间距）
  • 使用独特的LGO加热器，进行快速加热和冷却，并降低功耗