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除了汽车零部件,捷太格特还有面向多样化社会需求而诞生的产品阵容
提供Si、SiC/GaN/Ga2O3等复合功率半导体、MEMS、太阳能电池、VCSEL、OLED等制造工序中不可或缺的热处理设备。
立式炉管
立式炉管用于半导体器件制造过程中的晶圆处理,包括薄膜形成、退火和树脂膜硬化。
卧式炉管
可垂直堆叠多达 4 根水平处理管。能够有效利用安装区域的通用系统。
灯退火系统
该生产设备使用上下交叉排列的多个卤素灯作为热源,用于晶圆的快速、高精度退火。
洁净烘箱系统
用于聚酰亚胺后处理(后端处理)和抗蚀剂固化的最佳对流加热系统。
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