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半导体、FPD和高功能膜

对于半导体和液晶制造设备来说,净化性能自不必说,根据各个工序的不同,还要求具备耐高温、耐腐蚀、非磁性、粉尘排放量低等多种性能特点。
JTEKT 为各种设备提供特殊规格的轴承。

热处理成膜装置轴承

功 能

  • 热处理成膜装置采用的是在高温环境下也可润滑的特殊规格的轴承。

EB 曝光装置轴承

功 能

  • 由于 EB 曝光装置的轴承用于强磁场环境,因此采用的是非磁性材质的陶瓷轴承。

蚀刻装置轴承

功 能

  • 由于蚀刻装置轴承在暴露于蚀刻剂的状态下使用,所以采用的是耐腐蚀的陶瓷材质轴承及施加了 PTFE 涂层的轴承。

离子注入装置轴承

功 能

  • 离子注入装置的真空室内采用的是净化的轴承,可避免因在真空中进行润滑、受到磨损等而产生杂质。

溅射装置轴承

功 能

  • 溅射装置的高温、真空部分采用的是高温 Clean Pro 规格的轴承。

CMP 装置轴承

功 能

  • 由于 CMP 装置轴承在暴露于研削液的环境下使用,所以采用的是耐腐蚀的陶瓷材质轴承及施加了 PTFE 涂层的轴承。

检查装置轴承

功 能

  • 检查装置轴承采用的是对检查不造成影响的非磁性轴承。

晶圆运送装置轴承

功 能

  • 晶圆运送装置要求具备粉尘排放量低、使用寿命长的特点。
  • 为满足该用途,该装置采用的是与 Clean Pro 规格的组合陶瓷直线导轨,以及薄壁式 K 系列的深沟球型组合陶瓷轴承。

液晶偏光板薄膜制造装置轴承

功 能

  • 在偏光板薄膜生产线上,会使用酸、碱、染料、纯水等各种溶液。
  • 在这种腐蚀环境下,可采用耐腐蚀的组合陶瓷轴承。