ジェイテクトグループ 「SEMICON China 2024」に出展
株式会社ジェイテクト(本社：愛知県刈谷市、取締役社長：佐藤和弘）のグループ会社である株式会社ジェイテクトサーモシステム、株式会社ジェイテクトマシンシステム、株式会社ジェイテクトグラインディングツール、捷太格特(中国)投資有限公司は、3月20日～22日に上海市の「上海新国際博覧中心」で開催される、SEMICON China 2024（主催：SEMI、CECC）に出展いたします。
本展示会では、ジェイテクトグループ各社が一体となり、中国半導体市場に貢献する製品をご紹介します。
出展会社と主な出展製品
出展会社①
株式会社ジェイテクトサーモシステム（本社：奈良県天理市、取締役社長：大友直之）
＜主な出展製品＞
◆SiCパワー半導体用 コンタクトアニール炉 「RLA-4100-V」
複数のハロゲンランプを熱源とし、ウェーハを短時間かつ高精度にアニールする熱処理装置です。SiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）などの各種ウェーハに対応します。N2（窒素）ロードロックおよび真空ロードロック搬送対応により、金属配線部の酸化を防止するとともに時間当たりの業務処理量が向上します。
◆SiCパワー半導体用 活性化アニール用縦型炉 「VF-5300HLP」
1900℃超の超高温熱処理が可能で、SiCパワー半導体の活性化アニールに最適な装置です。8インチまでの幅広いウェーハサイズに対応し、一度に100枚まで処理が可能な量産性に優れた装置もラインアップされています。
◆SiCパワー半導体用 ゲート絶縁膜形成用縦型炉 「VF-5300H」
1400℃の高温熱処理が可能で、SiCパワー半導体の酸窒化処理に最適な装置です。当社独自の炉内メタルフリー構造を採用し、金属汚染の発生を最小限に抑えています。8インチまでの幅広いウェーハサイズに対応し、一度に100枚まで処理が可能な量産性に優れた装置もラインアップされています。
出展会社②
株式会社ジェイテクトマシンシステム（本社：大阪府八尾市、取締役社長：宮藤賢士）
＜主な出展製品＞
◆硬脆材料ウェーハ研削盤 「R631BM」
SiCなど硬脆材料のウェーハ研削に対応する研削盤です。高剛性スピンドルを搭載し、高剛性滑りスライドとの組合せで高精度かつ安定な加工が可能となります。
ジェイテクトグラインディングツールと共同で、８インチSiCウェーハ研削用に砥石構成を改良したダイヤモンドホイール「nanoVi」の搭載で、低い砥石摩耗率を実現します。
出展会社③
株式会社ジェイテクトグラインディングツール（本社：愛知県岡崎市、取締役社長：望月美樹）
＜主な出展製品＞
◆SiCウェーハ平面研削用ビトリファイドダイヤモンドホイール「nanoVi」
業界最小粒径0.5μmの超微粒ダイヤを均等にする革新製法により砥粒数や砥粒間隔を適正化し、切れ味と加工品質の持続的安定化を実現したホイールです。高強度ガラス結合剤を採用することで砥石強度を従来比1.7倍に高め、砥石摩耗量を抑制します。
「nanoVi」は、ジェイテクトマシンシステムの硬脆材料ウェーハ研削盤「R631BM」への搭載が可能であり、ジェイテクトグループのコラボレーションで、より高品質なウェーハ研削に貢献します。
本展示会では、8インチSiCウェーハ研削用に新たに砥石構成を改良し、ウェーハ品質の安定性向上と工具費低減に貢献する「nanoVi」をパネル展示します。
出展会社④
捷太格特(中国)投資有限公司（本社：上海市長寧区、総経理：藤澤寛幸）
＜主な出展製品＞
◆ターボ分子ポンプ用軸受
超高速回転のターボ分子ポンプには磁気軸受が用いられますが、万が一電源遮断したときや磁気装置が故障したときにブレードが破損しないよう保護用としてタッチダウン軸受が使用されます。過酷な環境下でのタッチダウン軸受の寿命向上のために、総玉形組合せセラミック軸受が採用されています。
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ用軸受
◆ウェーハ搬送ロボット用軸受
半導体・液晶製造装置に使用される搬送ロボットでは、低発じんで長寿命な軸受が要求されます。
このような用途に、薄肉型のKシリーズ総玉形組合せセラミック軸受が採用されています。
Kシリーズ総玉形組合せセラミック軸受
◆ドライポンプ用軸受
ドライポンプは半導体製造工程において真空用途、プロセスガスの供給などで活躍する必要不可欠な製品です。ロータを支持する軸受には真空・高温・高速回転下のあらゆる方面で高い性能が求められます。
ジェイテクトは、性能に見合う軸受の提供はもちろん、細やかな技術サポートも行い、ドライポンプの高い信頼性、省エネルギー化、メンテナンスコスト低減に貢献します。
ドライポンプ用軸受
小間番号
T0130
SEMICON China 2024について
会期：2024年3月20日（水）～22日（金） 9：00～17：00（最終日のみ16:00終了）
会場：上海新国際博覧中心
参考：SEMICON China 2024 ウェブサイト：https://www.semiconchina.org/en