枚葉式クリーンオーブンCCBSシリーズ

液晶（LCD）、有機EL（OLED）用クリーン加熱オーブンのベストセラー。
第10世代までのガラスサイズに対応し、高い生産性、ハイクリーン＆基板ダメージのゼロ化を実現。ポストベーク時の昇華物にも対応しています。

　

Features . Outline特長・概要

• オーブン内ラックピッチを狭小化し、処理用途別にラック構造を専用設計（特許取得済）。
  　 収納効率が高くスペース効率、エネルギー効率に優れています。また生産量に応じて
  　 使用するオーブン数を制限するなど、フレキシブルな対応が可能
• 独自のシャッター構造（特許取得済）によりオーブン内での基板の移動がなく、
  　 移動に伴う基板ダメージやパーティクル発生なし
• オーブン内負圧制御と高断熱構造により放熱量を低減
  　 廃熱回収装置によりエネルギーの有効利用を図ることが可能
• 枚葉式オーブン、冷却ラックなどの機能ユニットを自由にレイアウトでき、
  　 クリーンルームの限られたスペースの有効活用が可能
• ベーク後取り抜きや、ベークスルーなどあらゆる基板運用に対応可能
• 独自のノウハウでフォトレジストのポストベークなど昇華物が発生する処理にも対応済

基板サイズ(mm)	300(W)×400(L)〜3000(W)×3200(L)
使用温度範囲	80〜250℃
温度精度	±3℃
クリーン度	Class 10 (0.3μm)
用途	カラーフィルターレジストのポストベーク、アニール、 シール本硬化/仮硬化、配向膜の焼成