真空乾燥装置 CCBS-V spec
独自の薄型パネルヒータを真空チャンバー内に配置することで、第10世代までの大型液晶(LCD)基板の、真空中での脱水ベークや高沸点溶剤の乾燥、アニール処理を可能にしています。
前後工程とのインライン化やロボット対応など様々な形態
に対応します。
Features . Outline特長・概要
- 高輻射率の薄型パネルヒータを真空チャンバー内部に装着することにより、真空中での
加熱処理が可能 - 第10世代までの大型基板への対応が可能
- 前後工程装置との真空ロードロック接続や基板搬送ロボットを組み合わせたシステムなど、
様々な処理形態に対応可能
基板サイズ(mm) | 300(W) × 400(L) 〜 3000(W) × 3200(L) |
使用温度範囲 | RT〜250℃ |
温度精度 | ±3℃ |
クリーン度 | Class 10 (0.3μm) |
真空到達度 | 10-3Pa |
用途 | 脱水ベーク、溶剤乾燥、アニール |