クリーンバッチシステム CBSシリーズ

最高使用温度500℃までのLTPS（低温ポリシリコン）処理に最適なバッチ式クリーン加熱オーブン。
バッチ式でありながら強制冷却機構により高スループットを実現し、雰囲気処理も可能です。

Features . Outline特長・概要

• 独自のシール構造により、不活性ガスを導入して無酸化処理が可能
• 超高温HEPAフィルターを採用し、最高使用温度500℃を達成
• オーブン強制冷却機構、基板移載の高速化により、サイクルタイムを短縮

基板サイズ(mm)	300(W) × 400(L) 〜 730(W) × 920(L)
使用温度範囲	80〜500℃
温度精度	±5℃
クリーン度	Class 10 (0.3μm)
用途	LTPS、TFTの各種アニール