ウォーキングビーム式クリーンオーブン
ウォーキングビーム搬送の採用で、発塵を抑えたクリーンな各種熱処理が行えるオーブン。
Features . Outline特長・概要
- オーブン内搬送にクリーン性能に優れるウォーキングビーム方式を採用
- 耐熱カセットによるガラス基板の一括搬送により、高い生産効率を実現
| 型式 | WB |
| 基板サイズ(mm) | 300(W) × 400(L) 〜 1500(W) × 1850(L) |
| 使用温度範囲 | 80〜250℃ |
| 温度精度 | ±3℃ |
| クリーン度 | Class 10 (0.3μm) |
| 用途 | ガラス基板のアニール処理 |
