高温クリーンオーブン CLHシリーズ
耐熱高性能フィルターと独自冷却器により最高530℃まで（V型は
500℃まで）の高温処理が可能なクリーンオーブン。半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージングなど高温・高精度な処理が要求される用途に最適。
クリーンオーブン CLOシリーズ
内槽全周シール構造を採用。高気密化と良好な空気清浄度を実現。半導体ウェーハ、ガラス基板のベーキング、エージングなどに。
Features . Outline特長・概要
高温クリーンオーブン CLHシリーズ
- 耐熱高性能フィルタと当社独自の冷却器の搭載で高温ベークが可能
- 熱風循環方式による良好な温度均一性
- 温度安定時には槽内クラス100を維持可能
- 不活性ガスを槽内に導入することで、残存酸素濃度20ppm以下を達成。
イナートガスオーブンとしての使用も可能 - ドアシール部の熱影響低減のため、水冷式を採用。高い機密性を実現し、
クリーンな環境での熱処理が可能
クリーンオーブン CLOシリーズ
- 内槽を全周シール加工することで高気密性化。良好な清浄度と雰囲気を保持
- 耐熱性HEPAフィルタを採用、温度安定時の槽内はクラス100を維持可能
- 熱風循環方式による良好な温度均一性
- オプションのN2導入システムを装備することで、槽内の残存酸素濃度
100ppm以下(参考値)での処理も可能
| シリーズ | CLHシリーズ | CLOシリーズ |
| 方式 | 熱風循環式 | |
| 最高使用温度 ※ | 450℃／500℃／530℃ | 200℃／350℃ |
| 常用使用温度 ※ | 室温＋70〜450℃ 室温＋70〜500℃ 室温＋70〜530℃ |
室温＋60℃〜200℃ 室温＋60℃〜350℃ |
| 温度分布 ※ | ±5℃（at 450℃） ±5℃（at 500℃） ±8℃（at 530℃） |
±4℃（at 200℃） ±8℃（at 350℃） |
| 清浄度 | Class 100（温度安定時） | |
| ※機種により使用温度が異なります。 | ||
