量産〜実験用横型炉 Model 200 シリーズ
小型実験・研究(R&D)から量産までニーズに合わせた装置設計が可能な横型炉。
シリコンウェーハはもちろん、太陽電池生産用途にも使用できます。
太陽光発電セル用横型炉 Model 206A
太陽電池セル製造に最適な横型炉。
100〜156角ウェーハに対応し、1バッチ200〜400枚の大量処理が可能。
Features . Outline特長・概要
量産〜実験用横型炉 Model 200 シリーズ
- 小型実験から量産まで、用途・スペース・予算のご要求に合わせた仕様での装置提案
- 1バッチ25〜150枚処理まで対応
- スペースに合わせた1〜4段炉構成
- Φ50〜200mm及びΦ300mmと幅広いウェーハサイズに対応
- 低・中温域はLGOヒータ、高温域はHGCヒータ採用で優れた温度特性を発揮
- 機能に合わせた制御システム
| ヒータ | LGOヒータ、HGCヒータ |
|---|---|
| 均熱長(mm) | 250〜800 |
| ウェーハサイズ(mm) | 〜Φ300 |
| 温度制御 | 3ゾーン |
| 搬送装置 | ボートエレベータ、ボートローダ、 カンチレバーローダ、ソフトローダ |
| 用途 | 酸化・拡散（リン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、 ウェット酸化、ドライ酸化）、アニール処理 |
| 処理品 | Φ75〜Φ300mmシリコンウェーハ、125mm角、156mm角PVセル |
太陽光発電セル用横型炉 Model 206A
- 国内トップシェアの豊富な実績
- 100mm〜156mm角ウェーハに対応
- 1バッチ200〜400枚(均熱長、ウェーハピッチによる)
- LGOヒータ搭載により素早い昇降温と省エネが可能
| 本体寸法(mm) | 850(W)×6700(L)×2500(H) (3段炉) |
|---|---|
| ヒータ | LGOヒータ |
| 均熱長(mm) | 1000 |
| 温度制御 | 3〜5ゾーン |
| 搬送装置 | ボートローダー |
| 用途 | 酸化・拡散（リン拡散、ボロン拡散、パイロジェニック酸化、 ウェット酸化、ドライ酸化）、アニール処理 |
| 処理品 | Φ75〜Φ200mmシリコンウェーハ、125mm角、156mm角PVセル |
