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製品情報
自動車部品にとどまらず、多様な社会に応えるJTEKTの製品ラインナップ
Si及びSiC・GaN・Ga2O3等の化合物パワー半導体、MEMS、太陽電池、VCSEL、OLED等の製造工程に欠かせない熱処理装置をご提供。
パワー半導体(化合物)向け装置
次世代パワー半導体材料SiC、GaN、Ga2O3の熱処理工程で使用頂ける装置をラインアップ。
パワー半導体(Si)向け装置
Si-IGBT用の数十?m厚ウェーハも安心して搬送できる装置をラインアップ
面発光レーザー向け装置
VCSELの酸化工程に不可欠な装置として世界各国で高シェアを獲得している縦型炉。活性層近傍AlGaAs層のウェット酸化により、酸化狭窄構造の形成が可能です。
MEMS向け装置
MEMS向けで豊富な出荷実績を有する縦型炉
縦型熱処理システム
酸化、拡散、LPCVD、アニールなどの各種プロセスに対応する縦型炉
横型熱処理システム
シリコンウェーハ、太陽電池向け横型炉
ランプアニールシステム
複数のハロゲンランプを熱源とし、ウェーハのアニール処理を短時間で高精度に行うことが可能。
クリーンオーブンシステム
半導体ウエーハのポリイミドキュアやレジスト硬化に最適なクリーンオーブン
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ブランドメッセージ
総合力で社会の課題に応えつづける、JTEKTのブランドアイデンティティ。