VCSEL用縦型炉 VF-3000B

低温域での抜群の温度制御性・温度再現性を実現できる縦型炉。
ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から
量産ラインにまでお使い頂けます。

　

　

VCSEL用縦型炉 VF-1000B

低温域での抜群の温度制御性・温度再現性を実現。
〜Φ150mmウェーハサイズに対応した実験・研究(R&D)、
少量生産用縦型炉です。

　

　

Features . Outline特長・概要

VCSEL用縦型炉 VF-3000B

• ミニバッチ、最大25枚処理の選択が可能、R&Dから量産ラインに対応
• 〜Φ150mmまで幅広いウェーハサイズに対応
• 水蒸気の高精度な制御が可能、独自の雰囲気制御でアパチャーサイズのばらつきを低減
• LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮し、再現性にも優れる
• 枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送
• 使いやすさを追及した制御システムを採用

VCSEL用縦型炉 VF-1000B

• R&Dにおいても高品位なプロセスを実現
• ミニバッチ、最大25枚処理の選択が可能
• 〜Φ150mmウェーハサイズに対応
• LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮し、再現性にも優れる

シリーズ	VF-3000B	VF-1000B
本体寸法(mm)	1200(W)×1450(D)×2610(H)	1500(W)×1000(D)×2130(H)
均熱長(mm)	250
使用温度	〜450℃
ウェーハサイズ(mm)	〜Φ150
一処理枚数	25枚
ウェーハ搬送	枚葉	ー
処理	酸化、各種アニール