No.1012 2014インダストリ関連技術特集号 フィルム製造装置用長寿命高耐食軸受の開発 |
| カテゴリー | 資料 |
|---|---|
| 筆者 | 軸受事業本部 産業機器技術部 奥田康一 松浪 潤 |
| 要旨 | Productivity in every industrial field is improving continuously. The productivity of semiconductors or liquid crystal fi lms manufactured in extreme environments, such as vacuums, clean environments, and high temperatures, is also growing. We explain the material and the lubrication used in corrosive environments. In addition, we introduce the development of the corrosion-resistant bearing used in film manufacturing equipment. We succeeded in developing a bearing using steel with high hardness and high corrosion resistance. The new steel has higher corrosion resistance than the existent steel, enables a significant reduction in bearing wear and gives the bearing a long wear life. |
| キーワード | film manufacturing equipment, chemical solution, corrosion resistance, hardness, wear, EXSEV bearing |
| 関連リンク | 株式会社ジェイテクト：特殊環境用軸受シリーズ EXSEV軸受・セラミック軸受, CAT. no. B2004-3（2013）. |
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