No.1022 2025モノづくりとモノづくり設備を支える技術特集号 モノづくりに貢献するドライコーティング技術 |
| カテゴリー | 資料 |
|---|---|
| 筆者 | イノベーション本部 材料研究部 鬼頭佑典，松尾和昭 株式会社ジェイテクトコーティング 生産技術部 橋富弘幸 |
| 要旨 | プラズマを利用したコーティング技術は，材料表面に機能性を付与することが可能である．これらの技術は大きく分けてPVD法とCVD法に分類され，ジェイテクトグループではその両方のプロセスに対応している．PVD法では，主に耐摩耗性や耐熱性向上を目的とした窒化物系コーティングが利用される．一方， CVD法では，優れた潤滑性を付与できるDLCを処理する．本報では，これらの技術とその適用事例について紹介する． |
| キーワード | PVD，プラズマCVD，DLC，ハードコーティング，トライボロジー |
| 関連リンク | ・鈴木雅裕，山川和芳，齊藤利幸：DLC 膜の成膜技術とその応用，JTEKT ENGINEERING JOURNAL，No.1008（2010）40. |
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