No.1014 2016自動車用軸受関連技術特集号 ミニマルファブ用熱処理装置の開発 |
| カテゴリー | 資料 |
|---|---|
| 筆者 | 光洋サーモシステム株式会社 商品開発部 鈴木真之佑 |
| 要旨 | Minimal Fab is a new semiconductor manufacturing system that is specialized for small lot production, advocated by the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST). The project has been proceeding so smoothly that developers have demonstrated the manufacture of transistors at an exhibition venue1). Koyo Thermo Systems currently participates in the project and is in charge of the thermal processing tool. In this report, we introduce the details of the development of the tool. |
| キーワード | Minimal Fab, semiconductor manufacturing equipment, resistance furnace, energy saving |
| 関連タグ |
Ranking
(2024年4月の集計)
(2023年5月から2024年4月の集計)
JTEKT ENGINEERING JOURNAL
メールマガジン
最新号の公開情報をメールでお知らせいたします。ぜひ、ご登録ください。